显微式激光测振仪产品简介:
显微式激光测振仪LV-S01-M通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量,可以准确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌,激光光斑达微米量级;
显微式激光测振仪并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态(频率、速度、加速度、位移)以及可通过白光干涉测量物体形貌特征等多维信息。
显微式激光测振仪技术参数:
显微激光测振仪 LV-S01-M
工作温度
3℃-45℃
工作湿度
<90%
电 源
220-240Vrms,50~60Hz
激光波长
He-Ne Laser 632.8nm
激光安全等级
Class II
速度量程
10m/s
输出电压
±10V
频率范围
DC-3MHz
滤波设置
高通,低通滤波设置
最大线性误差
1%
机 架
反射用机架,低手位粗微同轴调焦机构。
粗调行程25mm,微调精度0.001mm。
带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。
内置100-240V宽电压系统。
光学参数
检测器尺寸:1/2;测量距离:9mm(使用10X物镜时)
观测装置
CMOS数码相机:320万像素(USB2.0)
速度分辨率
高于0.01μm∙s-1/Hz
位移分辨率
高于15pm
速度解码器
VD-16数字速度解码器
位移解码器
DD-16数字位移解码器、DD-21数字位移解码器
显微式激光测振仪功能特点:
➢ 非接触测量,无负载;
➢ 激光光斑很小,微米级;
➢ 可定制带宽和动态范围;
➢ 分辨率比较高;
➢ 工作距离可选;
➢ 高灵活性、易安装、易操作;
➢ 振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗冲击强、测量精度高;
➢ 配有同轴照明装置和相机,可以方便迅速地确定测量位置。
显微式激光测振仪应用领域:
➢ 微机电系统(MEMS)动态测试;
➢ 医学/动物学研究,如昆虫等生物活体的振动特性测量;
➢ 计算机外设的动态测试:硬盘驱动器/光盘机/磁带机等;
➢ 超声振动测量;
➢ 压电陶瓷振动测量;
➢ 弦线/丝线振动特性测量;
➢ 微型陀螺仪振动测量。
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