目前MEMS器件生产过程中良率不高，对封装前的MEMS芯片进行监测是一种低成本的提高产量和产品可靠性的手段；

MEMS固有频率测试可帮助判断产品是否合格，频率测试需要专业的非接触式测振系统——显微式激光测振仪；

显微激光测振仪不仅能测量微小物体的振动，同时也具有显微镜的功能。

上图:显微式激光测振系统

测试过程中将被测件放在显微式激光测振仪的工装上固定，使用激光测振仪来获取被测件的固有频率和振幅；

测试数据分析和显示使用专业激光测振分析软件DSA。

上图：MEMS器件测试环境和过程

上图:MEMS器件测试固有频率

通过测试可得被测产品有两个固有频率，分别为220.839kHz及346.435kHz，通过测试器件的固有频率及振幅，判断器件是否合格；

显微式激光测振仪通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量，可以准确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌，激光光斑达微米量级；

并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态（频率、速度、加速度、位移）等多维信息。